F4000系列質量流量計

量程 10 0SCCM - 1000 SLPM，±2% 滿量程精度，優(yōu)于 50 ms 響應時間

F4000系列質量流量計是最新一代工業(yè)微機電產品，采用基于微機電系統(tǒng)(MEMS)的流量傳感器，適用于廣泛的氣體流量精密測量領域。
F4000系列量程覆蓋范圍100sccm-1000slpm（氮氣等效）,控制范圍從1%滿量程到100%滿量程。
提供Modbus-RTU （RS485）數(shù)字信號，模擬信號（4-20mA或0-5V）通信接口，和開關量輸出。所需的電源電壓為9-32V。
F4000系列緊湊設計只有55mm的長度和37.5mm的高度，高度是傳統(tǒng)產品尺寸的3/5，并且本產品可以在360°任意角度下安裝使用。
F4000系列的控制器采用最新一代的MEMS技術和集成化設計，體積更小，性價比更高。
相比傳統(tǒng)毛細管熱式原理產品，F(xiàn)4000系列具有更佳的耐污染、耐粉塵、耐水汽能力，可用于復雜工況下的流量精準測量和控制。
配合自主研發(fā)的上位機軟件FlowView，來實現(xiàn)更多樣的數(shù)據(jù)在線監(jiān)測和控制。
該產品采用快速響應的優(yōu)質MEMS芯片，保持優(yōu)秀的測量穩(wěn)定性。

應用及案例

· 氣相色譜儀

· 配氣儀

· 真空鍍膜

· 泄漏檢測

· 生物發(fā)酵

· 食品和制藥

· 實驗室等

產品特色技術指標訂購選型產品詳圖產品大圖宣傳彩頁

特點

· 響應時間≤50毫秒

· 100:1寬量程比

· 鋁合金底座，或316L不銹鋼可選

· OLED顯示屏

· 14 項功能可調

· 結構緊湊小巧易于安裝

· 配套“SmartFlow”上位機軟件

技術指標

性能參數(shù)
氣體要求	潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類	氦氣、氬氣、氫氣、空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、甲烷等注：其它氣體請咨詢
量程	100sccm - 1000slpm（相對氮氣N2）
控制范圍（量程比）	1% - 100%（100：1）
精度	±2%F.S.
重復性	±0.2%F.S.
溫度漂移系數(shù)	≤0.1%RD/℃
壓力漂移系數(shù)	≤0.1%RD/Bar
啟動時間	≤1s
響應時間	≤ 50ms
操作條件
標準參考條件（STP標準溫度和壓力）	25℃ 和1atm
工作溫度	0 - 50℃
工作濕度	10% - 90%RH（無結冰、無凝霜）
最大耐壓	1 MPa
破壞壓力	1.5 MPa
儲存溫度	-20到85℃
機械參數(shù)
氣路連接接口	底座：G1/4英寸，G1/2英寸快插：6mm， 8mm ，10mm，12mm VCR：1/4英寸注：其它接口請咨詢
主體材質	底座：鋁合金，316L不銹鋼（可選）外殼：注塑
接液材質	底座：鋁合金，或316L不銹鋼密封圈： FKM氟橡膠 MEMS傳感器：氮化硅
密封材質	FKM氟橡膠
防護等級	IP40
安裝方向	任意方向
重量	鋁合金：59克，188克不銹鋼：134克，485克
電氣參數(shù)（供電和通信）
供電電壓	DC 9 - 24V (支持USB供電)
功耗	≤60mA
供電和通信接口	JGT 5Pin
電壓輸出信號	0 - 5V 、 0.5 - 4.5V、V1 -5V
電流輸出信號	0 – 20mA 、4 - 20mA
數(shù)字輸出信號	RS485 (MODBUS)
報警信號信號	PNP、NPN
顯示方式	瞬時流量、累計流量（可翻轉顯示正反）
顯示屏尺寸	1.09英寸
顯示屏分辨率	64 x 128 DOTs
通信協(xié)議	Modbus-RTU
設備地址	1（默認）- 253
壓降
量程	壓降
100 SCCM	0.1 kPa
500 SCCM	0.8 kPa
1 SLPM	0.3 kPa
2 SLPM	1 kPa
10 SLPM	0.7 kPa
20 SLPM	2.4 kPa
50 SLPM	7 kPa
100 SLPM	17.6 kPa
200 SLPM	59.8 kPa
500 SLPM	83.6KPa
1000 SLPM	247KPa

訂購選型

代碼示例: F4000-2L-TM6-013-44		代碼			示例
F4000產品系列
類型
質量流量計針閥流量調節(jié) 電磁閥流量調節(jié)		F4000 F4001 F4003			F4000
量程
100 sccm 1 slpm 5 slpm 10 slpm 20 slpm 50 slpm 100 slpm 200 slpm 500 slpm 1000 slpm		100C 1L 5L 10L 20L 50L 100L 200L 500L 1000L			2L
氣路連列接口
快插 6mm 快插 8mm 快插 10mm 快插 12mm VCR 1/4英寸		TM6 TM8 TM10 TM12 VC4			TM6
氣體（遵循半導體標準E52-0703）
名稱氦氣氬氣氫氣空氣氮氣氧氣二氧化碳甲烷注：其它氣體請咨詢	分子式 He Ar H2 Air N2 O2 CO2 CH4	001 004 007 008 013 015 025 028			013
模擬通信和數(shù)字通信
4-20mA模擬輸出信號			4 5	4
0-5V模擬輸出信號
開關量輸出信號（PNP/NPN） RS485數(shù)字輸出信號			2 4	4
其它參數(shù)
（1）質量流量計/控制器進入口和出口壓力（2）氣體溫度

產品詳圖

產品大圖

宣傳彩頁

F4000系列25V1.pdf