產品中心
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量程0.5 SCCM - 10 SLPM,優于1 %的精度,超低壓損
美國ALICAT ISMCW系列本安防爆低壓損型氣體質量流量控制器,ia區域本安防爆認證,可用于0區環境直接測控,無需額外的閥門配置;采用內部補償型層流壓差技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
ISMCW系列具有超低壓損,滿量程壓損最低可達690 Pa。ISMCW系列可用于快速準確地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度,適用于多種流量測控場合,尤其是要求低壓損的應用場合。
制氫
燃料電池
制藥
石油化工
能源
碳捕集
氣相色譜/氧氣分析儀等
ia區域本安防爆認證,可用于0區環境直接測控,無需額外的閥門配置
內置濕度傳感器(選配)
多參數顯示和輸出:溫度、壓力、體積流量、質量流量,設定值,閥門驅動百分比等
IP66防護
可選高精度:優于0.5%
可現場標定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣
標配閥門自整定和累積流量批次控制功能
本安防爆認證 ATEX和IECEx: Ex ia IIC T4 Ga Tamb -20 ℃ ~ 70℃
北美:Class I, Div 1, Groups A-D T4, Ex ia
Class I, Zone 0, AEx\Ex ia IIC T4 Ga
Tamb -20℃ ~ 70℃
介質要求 潔凈的非腐蝕性氣體
介質種類 內置98種氣體,用戶可現場編輯混合氣體 (至多5種成分),
并至多存儲20種混合氣
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-10 SLPM
量程可控比(穩態) 0.5-100%滿量程(200:1)
質量流量普通精度 ±(0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程)
質量流量高精度 ±(0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程)(量程5 SCCM可選)
累計流量精度 流量精度之外增加±0.1%讀數額外誤差
重 復 性 ± (0.2%讀數+0.02 %滿量程)
質量流量零點和滿量程溫度漂移 ±0.03%滿量程/℃(從25℃開始)
質量流量零點和滿量程壓力漂移 ±(0.08% 讀數+ 0.02% 滿量程)/atm
(從校準壓力開始)
顯 示 屏 LCD單色顯示屏(帶背光)
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度、設定值、
閥門驅動百分比
傳感器響應時間 <1ms
顯示響應時間 127ms(用戶可調)
控制響應時間(T63)<30ms(與流量相關,用戶可調)
閥門類型 常閉
預熱時間 < 1 s
工作溫度 -20 ~ 70 ℃(環境和氣體)
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ~ 95 %,無冷凝
內置濕度傳感器精度(可選) ±1.8%RH@23℃(0-90%RH)
濕度漂移 ±0.05%RH/℃(0 ~ 60℃)
工作壓力 11.5-60 PSIA
壓力精度 ±0.75%讀數(>1atm);
±0.1PSIA(<1atm)
耐 壓 80PSIA(靜壓);15PSID(進出口差壓)
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數字輸入/輸出信號 串口ASCII碼和Modbus RTU via RS232(默認);
可選串口ASCII碼和Modbus RTU via RS485
模擬輸入/輸出信號 4-20mA
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@19200波特率;
模擬信號:1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程誤差
供電電壓與電流 請查看說明書DOC-MANUAL-IS-SAFEINSTALLATION
電氣接口 DB15
接液材質 主體:316L SS,303SS
傳感器:氧化鋁陶瓷,金,玻璃,熱固化環氧樹脂,
熱固化硅橡膠,硅,聚酰胺
閥門材質:銅,302SS,304SS,430FR SS
密封材質:FKM
過程接口 NPT內螺紋,詳細規格參考壓損表;其他過程接口請咨詢;
安裝方向 無要求
安裝固定孔 4×6-32UNC螺紋,孔深7.01mm
防護等級 IP66
滿量程為0.5 SCCM -10 SLPM,
其中10 SCCM - 10 SLPM量程段,下述指標升級:
質量流量普通精度 ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程(取最大值)
質量流量高精度 ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程(取最大值)
重復性 ±(0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程)
質量流量零點漂移 ± 0.03%滿量程/ ℃(從25℃開始)
± 0.01%滿量程/ Atm(從清零壓力開始)
質量流量滿量程漂移 ± 0.03%滿量程/ ℃(從25℃開始)
± 0.1 %讀數/ Atm(從校準壓力開始)
滿量程 | 滿量程壓損 (PSID/KPaD)
| 外形尺寸 | 過程接口 | 重量 Lb/kg |
0.5-50sccm | 0.1/0.69 | 7.05''H ×5.75''W ×1.50''D
|
M5×0.8mm內螺紋 |
5.0/2.3
|
100sccm | 1/8''NPT內螺紋
| |||
200sccm-1slpm | ||||
2slpm | 0.2/1.38 | |||
5-10 slpm | 0.3/2.07 | 7.65''H ×6.00''W ×1.50''D
| 1/4''NPT內螺紋 |
6.0/2.7 |

