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真空鍍膜-外部離子真空計(jì)真空控制系統(tǒng)
如下圖外部離子真空計(jì)真空控制系統(tǒng)，采用了具有獨(dú)特配置的ALICAT單閥壓力控制器（即外部離子真空計(jì)真空控制器）。此款控制器專為真空鍍膜行業(yè)而制造。
ALICAT獨(dú)特的創(chuàng)新，使壓力傳感器具有極低的量程范圍，從而可以控制鍍膜室的極高真空狀況。
真空控制器可實(shí)現(xiàn)快速控制，主要基于離子真空計(jì)的傳感器所提供的0~10V線性壓力輸出。控制器可接收此信號(hào)，用于控制鍍膜室的極高真空狀況。
在上述應(yīng)用中，0~10V信號(hào)對(duì)應(yīng)了0~0.5Torr的極高真空。控制器利用離子真空計(jì)提供的此信號(hào)，可精確控制鍍膜室的極高真空狀況。
通過本地模擬信號(hào)或RS232通信，可方便地設(shè)置控制器的設(shè)定點(diǎn)。
真空控制器上游的質(zhì)量流量計(jì)不受下游真空影響，可以精確測量質(zhì)量流量、體積流量和流入真空室的氣體的累積質(zhì)量。
如有問題，請聯(lián)系銷售工程師，討論您的系統(tǒng)應(yīng)用情況。
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